,使

Alina Fumina1,2, Anastasiya Speshilova1, Ilya Belyanov1

  • 1Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University, 195251 St. Petersburg, Russian Federation.

概括

工业规模的合体光刻需要无缺陷的涂层. 这项研究改进了螺旋涂层,并开发了朗迈尔-布洛杰特方法,实现了高质量,大面积的单层,用于先进的口罩生产.