调整喷SiN/BN涂层的机械和光学性能
Pengyuan Wu1,2, Tianxiang Yu1, Yusi Wang3
1ZJU-UIUC Institute, International Campus, Zhejiang University, Haining 314400, China.
ACS applied materials & interfaces
|September 12, 2024
概括
灵活的保护涂层对于现代电子设备至关重要. 这项研究开发了一种新的化/化纳米层涂层,为耐用电子设备提供卓越的硬度,透明度和灵活性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 表面工程是什么?表面工程是什么?
背景情况:
- 灵活的电子产品需要具有机械耐用性和光学清晰度的保护涂层.
- 目前的聚合物涂层缺乏足够的硬度,而无机涂层则不够灵活.
- 需要先进的涂层,将高硬度,透明度和灵活性相结合.
研究的目的:
- 开发一种新的化/化周期纳米层涂层 (PNC) 结构.
- 在保护性涂层中实现高机械耐用性,透明度和灵活性.
- 优化化 (SiN) 薄膜和SiN/BN PNC的性能,用于先进的电子应用.
主要方法:
- 优化脉冲直流 (DC) 磁铁子喷射用于SiN薄膜沉积.
- 研究了脉冲频率和工作周期对SiN特性的影响.
- 评估了厚度比率和调制周期对SiN/BN PNC性能的影响.
主要成果:
- 开发了具有蓝宝石级硬度和高耐磨性的SiN/BN PNC.
- 在可见-近红外 (VIS-NIR) 范围内实现了光学吸收最小的涂层.
- 证明了与卓越的机械和光学性能相结合的特殊灵活性.
结论:
- 定制的SiN/BN PNC结构有效地解决了现有保护涂层的局限性.
- 优化喷参数和结构设计是实现所需材料性能的关键.
- 这些先进的涂层对柔性屏幕和可穿戴电子设备具有重大前景.
