聚合性非性化光酸发生器用于高分辨率石版印刷.
Yue Liu1, Dong Wang1, Qianqian Wang1
1National Engineering Research Center for Colloidal Materials, School of Chemistry and Chemical Engineering, Shandong University, 27 South Shanda Road, Ji'nan, Shandong, 250100, China.
Small methods
|September 23, 2024
概括
新的富含的光酸生成器 (PAG) 克服了先进光电阻的分辨率和灵敏度权衡. 这些新的PAG最小化了酸扩散,为下一代光刻画实现了高分辨率的纳米图案.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学 化学 化学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 化学放大光电阻面临的挑战是酸扩散,限制分辨率,线边粗度和灵敏度.
- 为了实现高分辨率的光刻,需要克服这些关键参数之间的权衡.
研究的目的:
- 开发新的光酸生成器 (PAG),以提高灵敏度并最大限度地减少酸扩散,用于先进的光刻.
- 合成PAG结合的聚合物,以提高纳米图案的分辨率.
主要方法:
- 开发基功能化的非离子完全化光酸发生器 (PAG).
- 可聚合的PAG单体和PAG结合的聚合物的合成.
- 评价石版的性能,包括45nm以下的线条图案.
主要成果:
- 富含的PAG表现出增强的光化学反应性,改善光电阻敏感性.
- 生成的硫酸具有大尺寸和最小的扩散,有效地抑制了酸扩散.
- 用PAG结合的聚合物光电阻在29μC cm-2的电子束剂量下绘制了45nm以下的线条.
结论:
- 开发的高化PAG为高灵敏度和高分辨率纳米图案提供了一个有前途的解决方案.
- 与PAG结合的聚合物通过最大限度地减少酸扩散来进一步提高分辨率.
- 这些材料适用于需要严格性能指标的高级光刻应用.
