使用UV女秒激光在改性聚胺柔性电路板中钻孔的微孔的表征
Lijuan Zheng1,2, Shuzhan Lin1,2, Huijuan Lu1,2
1Institute of Manufacturing Technology, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China.
Micromachines
|September 28, 2024
概括
紫外线五秒激光钻探在改性聚胺 (MPI) 柔性打印电路 (FPC) 中产生精确的微孔. 激光能量影响铜形态和微孔深度,对于集成电路的可靠性至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 激光物理 激光物理
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 改性聚胺 (MPI) 柔性印刷电路 (FPC) 对于集成电路包装至关重要.
- 在FPC中微孔的质量和精度直接影响电子元件的可靠性.
- 微孔是关键特征,需要先进的制造技术以获得最佳性能.
研究的目的:
- 研究使用紫外线 (UV) femtosecond激光器在基于MPI的FPC中钻出微孔.
- 在铜和MPI层中分析微孔壁的形态.
- 确定激光处理参数对微孔尺寸的影响,了解钻孔机制.
主要方法:
- 使用紫外线女秒激光系统在MPI基板的双层FPC上进行微孔制造.
- 使用显微镜观察和分析微孔壁形态.
- 系统地改变了激光参数,例如脉冲能量,扫描时间和重叠率.
- 研究了激光加工过程中的材料去除率.
主要成果:
- 铜的五秒激光加工显示了与激光能量直接相关的形态变化,包括周期性结构.
- 常见的微孔沉积物包括铜,MPI和铜氧化物.
- 微孔深度随着更高的单脉冲能量,扫描时间和重叠率而增加,而直径基本保持不变.
- 观察到MPI树脂层的材料去除率显著增加.
结论:
- 紫外线女秒激光钻探是一种有效的方法,用于在MPI FPC中创建微孔.
- 激光参数极大地影响微孔深度和墙壁形态,影响FPC质量.
- 了解这些关系是优化FPC制造以提高集成电路可靠性的关键.
