基于标准偏差的自适应中间波器,用于消除步骤微结构测量中的蝙蝠翼效应,使用数字全息学
Jiasi Wei1, Junjie Wu1, Chen Wang2
1Key Laboratory of Bioanalysis and Metrology for State Market Regulation, Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, Shanghai 201203, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|September 28, 2024
概括
这项研究引入了一种基于标准偏差的新型自适应中间波器,用于纠正微观结构的数字全息测量中的蝙蝠翼效应. 该方法通过保持配置文件完整性来准确测量步骤高度.
科学领域:
- 计量学 计量学 计量学
- 光学工程是指光学工程.
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 数字全息提供了微观结构的非侵入性,全场测量.
- 由于光线在的边缘散射而引起的蝙蝠翼效应,在步骤微观结构测量中引入了重大错误.
研究的目的:
- 开发和验证一种新的过技术,以消除数字全息画中的蝙蝠翼效应.
- 为了提高微观结构测量的准确性,特别是步骤高度.
主要方法:
- 提出了一个基于标准偏差的自适应中间波器.
- 过器根据标准偏差动态调整窗口大小和重量,以识别和减轻蝙蝠翼区域.
- 实验使用美国空军1951年分辨率目标和标准步骤高度目标进行.
主要成果:
- 拟议的过器有效地消除了数字全息图测量中的蝙蝠翼效应.
- 微观结构配置文件的测量完整性得到保留.
- 实现了准确的步骤高度测量.
结论:
- 基于标准偏差的自适应中间波器是一个强大的解决方案,用于纠正数字全息画中的蝙蝠翼效应.
- 这种方法提高了微结构计量学的可靠性,使得堆叠芯片设备的精确测量成为可能.
