实验演示中红外波导平台的高对齐耐受性行为,用于发射场传感

科学领域:

• 光子学和光学工程的工程.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 传感技术 传感技术

背景情况:

• 中红外 (中红外) 波导对于传感应用至关重要.
• 对于实际的波导更换,需要耐对齐的合接口.
• 对平台为中红外应用提供了潜在的潜力.

研究的目的:

• 为了证明对-波导的对齐耐受性合.
• 评估单立体集成微镜片对合效率和稳定性的影响.
• 为了能够在6.57.5微米范围内进行 evanescent 场传感.

主要方法:

• 制造一个在上挖掘的波导平台与集成的微镜头.
• 扩展光束的后侧合用于 evanescent 场传感.
• 积极对齐和控制引入错位 (±16微米在平面上,>±150微米纵向).

主要成果:

• 在平面内达到1dB的±16μm的对准公差和±150μm的纵向公差.
• 在没有微镜头的情况下,模拟预测了±3μm的平面内公差.
• 微镜片的整合显著改善了稳定性,防止因错位引起的强度变化.

结论:

• 单立体集成微镜头使中红外波导具有高度对齐耐受性的后侧合.
• 该平台适用于强大的 evanescent 场传感应用.
• 开发的技术有助于在传感系统中更容易地集成和更换波导.