远距离图案的3D对齐,使用超表面进行深度亚波长精度的3D对齐

科学领域:

• 光学和光子学 在光学和光子学.
• 地表表面技术的技术.
• 精确计量学 精确计量学

背景情况:

• 对3D物体位置的亚纳米精度测量对于基本物理学和先进制造至关重要.
• 目前使用显微镜成像的方法不足以实现下一代3D芯片对齐.

研究的目的:

• 开发一种技术,以次纳米精度测量远距离物体之间的3D误差.
• 在高精度对齐任务中克服现有方法的局限性.

主要方法:

• 使用超表面对齐标记,激光和摄像头进行3D不对齐测量.
• 使用模拟来确定拟议技术的精度极限.

主要成果:

• 在测量横向和轴向不对齐方面,已证明了亚纳米精度.
• 实现了 λ0/50,000 (横向) 和 λ0/6,300 (轴向) 的射击噪声限制精度,其中 λ0 是激光的波长.

结论:

• 这种新的技术为3D对齐提供了高精度和简单性.
• 实现了3D集成光学和电子芯片的进步.
• 为低成本,紧的传感器为亚纳米位移测量铺平了道路.