多参数方法用于通过分子模拟对分子玻璃电阻进行开发人员选
Peng Lian1,2, Zhuoran Liu1,2, Rui Hu3
1Key Laboratory of Photochemical Conversion and Optoelectronic Materials, Technical Institute of Physics and Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China.
ACS applied materials & interfaces
|October 15, 2024
概括
使用汉森溶解度参数 (HSP),两组分溶解度参数 (TSP) 和顺序参数 (OP) 的多参数 (MP) 方法有助于开发人员对分子玻璃电阻进行选. 这种经过实验验证的方法加快了先进的刻画材料的发展.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 计算化学的计算化学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
背景情况:
- 高分辨率光刻要求高效,准确的开发者选新型分子玻璃电阻.
- 目前的方法可能缺乏复杂电阻配方所需的精度.
研究的目的:
- 提出和验证一种多参数 (MP) 方法,用于分子玻璃电阻的开发者选.
- 为了提高使用组合可溶性参数的溶剂抵抗相互作用的预测准确度.
主要方法:
- 开发一个定制的溶剂数据库,包含80种有机溶剂.
- 应用分子动力学模拟,包括汉森溶解度参数 (HSP),两组分溶解度参数 (TSP) 和顺序参数 (OP).
- 创建HSP&OP和TSP&OP的溶解度预测图.
主要成果:
- 与3D图相比,2D HSP图表在溶解度预测方面与OP显示出更好的一致性.
- 通过MP方法,开发人员成功选了可分解 (AD10BOC) 和可交叉链接 (AD4C) 电阻.
- 实验性石版和溶解试验证实了OP在预测相对溶解度方面的准确性.
结论:
- 拟议的多参数方法提供了一个可行的,准确的方法,用于开发者选在光刻.
- 这种方法可以显著加速发现和开发新的耐力材料,用于先进的光刻应用.
