概括
这项研究引入了一种新的3D表面成像方法,使用合成波长和全息. 它可以在几毫秒内为各种表面实现微米级的深度精度.
科学领域:
- 光学成像技术的成像
- 计量学 计量学 计量学
- 全息影像的使用方法.
背景情况:
- 准确的3D表面造型对于质量控制和科学研究至关重要.
- 现有的方法可能面临速度,精度或复杂性的限制.
研究的目的:
- 介绍一种新的相位分辨率连贯的3D表面成像技术.
- 为了证明其具有高精度的定量深度测量能力.
主要方法:
- 采用了基于相位的合成波长测距与线程扫描离轴全息相结合.
- 采用一种同质调节激光来快速切换波长,并使用一个米镜来扫描.
- 开发了一个用于3D表面成像的概念验证系统.
主要成果:
- 实现了微米级的深度精度.
- 在化,3D打印目标和印刷电路板上展示了定量深度测量.
- 在50毫秒的采集时间内在12.8毫米×34毫米的视野中获得的图像.
结论:
- 这种新的方法为快速精确的3D表面成像提供了一个有前途的解决方案.
- 该系统的性能,包括射击噪声和斑点噪声的分析,得到了验证.
- 这种技术在需要详细的表面计量学的各种领域都有潜在的应用.


