激光制造的等离子水窗X射线源由连续液体斯木喷射

科学领域:

• 物理 物理学 物理
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光学是什么?光学是什么?光学是什么?

背景情况:

• 对各种科学和技术应用而言,X射线源至关重要.
• 开发稳定高效的水窗 (WW) 射线源仍然是一个挑战.
• 液体目标为高重复率的X射线生成提供了潜在的优势.

研究的目的:

• 为了展示一个连续运行的水窗X射线源.
• 为了研究再生液体木喷气用于X射线生成的性能.
• 评估该源对未来应用的潜力,如极端紫外线光刻和生物成像等.

主要方法:

• 使用一个直径为35-40微米的再生液体 (Bi) 喷气,注入真空中.
• 在120分钟内连续运行源.
• 描述了在特定波长 (4.1 nm,4.3 nm,2.8 nm) 和整体光谱范围 (2.3-4.4 nm) 的每脉冲发射的光子.

主要成果:

• 实现了水窗X射线源连续运行120分钟.
• 在4.1-4.3 nm (n=4-4过渡) 测量的光子流量为3-4.2 × 10^11光子/日,在2.8 nm (n=4-5过渡) 测量的1.7 × 10^11光子/日.
• 在2.3-4.4纳米范围内观察到总光子发射量为10^12-10^13光子/{nm·sr},以及用激光强度 (功率为0.4) 的光谱的功率规律缩放.

结论:

• 再生液体斯木喷气提供稳定和连续的水窗X射线源.
• 这项技术显示出下一代极端紫外线光刻的巨大潜力.
• 该源是生物成像中先进的X射线显微镜的可行候选者.