对精密的MIMO运动系统进行代控制解调:矩阵更新方法

科学领域:

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• 机械电子学是什么意思 机械电子学

背景情况:

• 精密多输入多输出 (MIMO) 运动系统需要控制解,以便独立控制每个自由度 (DOF).
• 制造公差和组装错误导致重心 (CoG) 和执行器位置的不准确,降低了名义控制解矩阵性能.

研究的目的:

• 开发一种代的控制脱调方法,以解决控制脱矩阵中的不准确性.
• 为了提高精密运动系统的脱性能,尽管模型不确定性.

主要方法:

• 提出了一种新的基于矩阵更新的代控制脱调方法.
• 该方法利用反控制信号进行准确的调节.
• 刚体模型信息被用来构建准确的基础函数以实现更快的调,特别是在较低的控制带宽时.

主要成果:

• 矩阵更新方法显著改善了控制解性能.
• 实验结果显示,仅经过两次调整试验,伺服器误差大幅减少 (例如,峰值Rx-DOF误差从1.29 × 10−5 m减少到3.19 × 10−6 m).
• 该方法可以提高逻辑控制装置的动态性,而不会增加控制复杂度.

结论:

• 拟议的基于矩阵更新的代调整方法有效地提高了精密MIMO运动系统中控制脱性能.
• 与前补偿方法相比,这种方法为模型不准确性提供了更好的稳定性.
• 该方法通过在 lithographic 投影镜头测试系统的关键子系统上的实验结果来验证.