探测器协助将局部化化成基板
Jung-Joon Ahn1,2, Santiago D Solares2, Lin You1
1Physical Measurement Laboratory, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland 20899, USA.
Journal of applied physics
|October 24, 2024
概括
使用原子力显微镜 (AFM) 对的局部兴奋剂创建了纳米级连接点. 热激活是必要的,但导致了剂扩散和几何扭曲,火温度是剂度的关键因素.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 精确的补充剂放置对于可重复的纳米级半导体设备制造至关重要.
- 原子力显微镜 (AFM) 提供了局部材料修饰的潜力.
- 了解剂激活和扩散对于设备性能至关重要.
研究的目的:
- 为了证明AFM辅助的局部化成n型.
- 为了研究在-空气接口附近生成纳米级反兴奋剂接口.
- 分析热激活对剂扩散和电性质的影响.
主要方法:
- 使用AFM探针对n型 (100) 晶圆进行局部化.
- 接触电位差异 (CPD) 的测量,用于纳米级空间分辨率的静电电位变化.
- 热化以电气激活植入的配剂.
主要成果:
- 在-空气接口的2纳米范围内成功生成纳米级反兴奋剂接口.
- 观察到与局部兴奋剂相关的静电电位 (CPD) 变化.
- 需要热激活,但导致了剂扩散和几何扭曲 (扩大,模糊).
- 活性兴奋剂度主要取决于回火温度,而不是AFM-tip停留时间.
结论:
- 用AFM辅助的局部兴奋剂是一种可行的技术,用于在中创建纳米级连接.
- 热激活是一个关键但具有挑战性的步骤,需要优化以尽量减少扩散和扭曲.
- 热温度是控制剂部位电活动的主要因素.
