使用HNA湿蚀刻制造几乎圆形截面的埋藏微通道

科学领域:

• 微流体学 微流体学
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 传感器技术 传感器技术

背景情况:

• 制造悬浮微流体通道在实现大尺寸和集成功能方面存在挑战.
• 现有的方法往往缺乏精确材料移除和结构释放所需的选择性.

研究的目的:

• 为大型悬浮微流体通道展示一种新的制造工艺.
• 为了证明在微流体装置内集成的金属电极用于执行和读取.
• 为了展示制造的道在微型科里奥利斯传感器中的潜在应用.

主要方法:

• 使用埋藏通道技术与选择性蚀刻剂混合物 (HF,HNO3,水) 进行精确的去除.
• 采用富含的化面膜材料,可实现高蚀刻选择性.
• 在制造过程中集成金属电极,以实现设备的功能.

主要成果:

• 成功制造出大型悬浮的微流体通道,截面接近圆形 (直径高达300微米).
• 实现了1.5微米的通道壁厚度.
• 使用开发的工艺演示了微型科里奥利斯质流和密度传感器的制造.

结论:

• 这种新的制造工艺使得能够创建大型的悬浮微流体通道,并配有集成的电极.
• 蚀刻剂和面具材料的高选择性对于成功的通道释放和设备制造至关重要.
• 该工艺适用于需要具有振动运动的微流体结构的应用,例如科里奥利斯传感器.