在42°Y-X LiTaO3/SiO2/Poly-Si/Si基板上的蜂形声波晶体,以提高性能和微型化
Panliang Tang1,2, Hongzhi Pan2, Temesgen Bailie Workie1
1School of Integrated Circuit Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, No. 2006, Xiyuan Avenu, West Hi-Tech Zone, Chengdu 611731, China.
Micromachines
|October 26, 2024
概括
这项研究介绍了一种新的蜂声波晶体 (PnC) 结构,用于表面声波 (SAW) 设备. PnC反射器提高了共振器的性能,并使设备变小.
科学领域:
- 材料科学与工程 材料科学与工程
- 声学和波浪现象的现象
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 表面声波 (SAW) 设备受益于多层压电基板提供的高Q值.
- 与多层基板集成的声波晶体 (PnC) 结构可以在 SAW 设备中实现小型化和高性能.
- 声波反射对于SAW设备的功能至关重要.
研究的目的:
- 为SAW设备提出和分析一种新的蜂形声波晶体 (HC-PnC) 结构.
- 研究HC-PnC结构对带隙分布和共振器性能的影响.
- 通过使用HC-PnC反射器来证明设备小型化和性能增强的潜力.
主要方法:
- 分散和传输特征分析以确定带隙分布.
- 使用HC-PnC的42°Y-X LT/SiO2/多Si/Si分层基板的制造和表征.
- 用不同类型的反射器对一个端口SAW共振器进行比较和分析.
- 频率响应和Bode-Q值的评估.
主要成果:
- 在HC-PnC结构表现出基于填充分数的可调节带隙属性.
- 将HC-PnC集成为反射器显著改善了SAW共振器的传输损失.
- 使用HC-PnC反射器导致设备尺寸大幅减少.
- 通过HC-PnC反射器观察到增强的Q值.
结论:
- 拟议的HC-PnC结构有效地提高了SAW设备的性能.
- HC-PnC反射器为小型化高性能SAW设备提供了可行的解决方案.
- 这种方法为先进的声波设备铺平了道路,提高了效率和减少了足迹.
