层 (NbTaMoW) N 薄膜的机械和tribological特性
1Department of Optoelectronics and Materials Technology, National Taiwan Ocean University, Keelung 202301, Taiwan.
Materials (Basel, Switzerland)
|October 26, 2024
概括
与柱状结构相比,层 (NbTaMoW) N 薄膜具有更好的耐磨性. 机械性能因流量比而异,层薄膜硬度较低,但磨损性能较强.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜技术 薄膜技术
- 表面工程是什么?表面工程是什么?
背景情况:
- 高合金 (HEAs) 具有独特的特性,但它们在保护性涂层中的应用有限.
- 在 (NbTaMoW) N薄膜中的结合可以改变相位结构和机械性能.
- 了解处理参数和薄膜特性之间的关系对于优化性能至关重要.
研究的目的:
- 研究喷参数对层 (NbTaMoW) N薄膜的结构,机械和 Tribological 性能的影响.
- 为了比较层薄膜与柱状薄膜的性能.
- 探索这些薄膜作为耐磨涂料的潜力.
主要方法:
- (NbTaMoW) N薄膜的协同喷射具有不同的基板保持器旋转速度 (2和10rpm) 和流率 (0.1,0.2,0.4).
- 从以身体为中心的立方体到纳米晶体和面部为中心的立方体结构的阶段演变的结构性表征.
- 机械测试 (硬度) 和 tribological 评估 (耐磨性).
主要成果:
- 层叠 (NbTaMoW) N薄膜表现出相位结构的过渡,流量比增加.
- 在气流量比为0.4的2和10rpm沉积的薄膜的硬度值分别为25.2和26.1GPa.
- 尽管硬度较低,但层薄膜与在类似条件下制备的柱状薄膜相比,具有更高的耐磨性.
结论:
- 的结合和基质的旋转显著影响 (NbTaMoW) N膜的相位结构和机械性能.
- 层叠 (NbTaMoW) N薄膜提供了增强的耐磨性,使它们成为保护性涂层应用的前景.
- 进一步的研究可以优化加工参数,以实现硬度和磨损性能之间的平衡.
