SiCl4-CH4-H2-N2β-SiC

Tongguo Huo1,2, Kai Cao1,2, Jianxin Zheng1,2

  • 1School of Physics and Materials Science, Nanchang University, Nanchang, Jiangxi 330031, People's Republic of China.

概括

这项研究阐明了使用化学蒸气沉积 (CVD) 制备β-碳化 (β-SiC) 的机制. 研究人员确定了最佳反应路径和温度,以在石墨托盘上生产高质量的β-SiC涂层.