光学探针用于光子元素的非破坏性晶圆尺度表征
1Center for Nanoscale Science and Technology, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899.
IEEE photonics technology letters : a publication of the IEEE Laser and Electro-optics Society
|November 1, 2024
概括
研究人员开发了一种微制造的光子波导环探头,用于测试纳米光子设备. 这种扫描探针显微镜 (SPM) 系统可实现精确的,局部化的光学合和集成光子电路的测试.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 纳米技术纳米技术
- 微型制造业的微型制造
背景情况:
- 纳米光子设备和电路需要精确的测试方法.
- 发光合对于纳米光子学中的光信号相互作用至关重要.
研究的目的:
- 描述一款新型微型光子波导循环探测器的制造和操作.
- 为了使纳米光子设备和电路的非破坏性,局部测试.
主要方法:
- 在绝缘体 (SOI) 芯片上的上制造 (Si) 波导环探头 (直径约10微米).
- 与扫描探头显微镜 (SPM) 集成,用于定位和光学合控制.
- 在微光盘光学腔中进行光谱学.
主要成果:
- 证明了波导环探头的成功制造和操作.
- 实现了用于局部测试的可控 evanescent 合.
- 一个Si微光盘腔的光谱学产生了≈106的光学质量因子.
- SPM允许精确控制合制度 (低到过度合).
结论:
- 微构造的光子波导环探测器是有效的纳米光子设备的非破坏性测试.
- 该系统允许高精度的芯片尺度和晶圆尺度测试.
- 这项技术推进了集成光子电路的局部光学表征.
更多相关视频
11:47Characterization of Surface Modifications by White Light Interferometry: Applications in Ion Sputtering, Laser Ablation, and Tribology Experiments
Published on: February 27, 2013
15.6K
11:08Fabrication And Characterization Of Photonic Crystal Slow Light Waveguides And Cavities
Published on: November 30, 2012
18.9K
