,

Alexandra J Howzen1, Justin Caspar2, Alparslan Oztekin2

  • 1Department of Materials Science and Engineering, Lehigh University, Bethlehem, Pennsylvania 18015, USA.

PubMed
概括

我们开发了一种新型的原子层沉积 (ALD) 系统,集成反射高能电子衍射 (RHEED),用于现场薄膜分析. 该系统可以实时监测ALD过程中的材料结晶和结构演变.