概括
本研究介绍了一种便携式的5-DOF测量系统,用于线性轴几何误差检测. 它使用一种新的平行光束生成方法,使用角立方反射器 (CCR) 来提高机床评估的准确性和实用性.
科学领域:
- 计量学和测量科学 计量学和测量科学
- 机械工程 机械工程
- 光学工程是指光学工程.
背景情况:
- 几何错误检测对于线性轴的准确性至关重要.
- 传统的双光束系统由于光束并行性问题而面临局限性.
研究的目的:
- 提出一个便携式的5度自由度 (DOF) 测量系统.
- 开发一种新的并行光束生成方法,以提高精度.
主要方法:
- 使用两个直角立方体反射器 (CCR) 和一个光束分割器 (BS) 来产生并行光束.
- 采用两个位置敏感探测器 (PSD) 和自动聚合器来测量直度和角度误差.
- 模拟并补偿检测偏差.
主要成果:
- 在没有大量调整的情况下,实现了5.9'的双光束平行性.
- 证明直度测量范围为±400μm,角度测量范围为±300''.
- 报告的系统可重复性:2.20μm (直线),1.58' (yaw),1.82' (pitch),5.04' (roll). 系统可重复性为:2.20μm (直线),1.58' (yaw),1.82' (pitch),5.04' (roll). 系统可重复性为:2.20μm (直线),1.58' (yaw),1.82' (pitch),5.04' (roll). 系统可重复性为:2.20μm (直线),1.58' (yaw),1.82' (pitch),5.04' (roll). 系统可重复性为:2.20μm (直线),1.58' (yaw),1.82' (pitch),5.04' (roll).
结论:
- 开发的5-DOF系统提供了简单的结构和稳定的准确性.
- 该系统对于测量机床的几何误差非常实用.
- 这种新的平行光束生成方法克服了传统系统的局限性.
