概括
这项研究介绍了一种新型的极化分离器-旋转器 (PSR) 在薄膜酸 (TFLN) 上使用多模干扰 (MMI). 这种基于MMI的PSR简化了制造,使得成本效益高的芯片上的极化控制成为可能.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 极化分离器旋转器 (PSR) 对于芯片上的极化操纵至关重要.
- 现有的TFLN PSR需要微米以下的间隙,复杂化了 lithography 和蚀刻.
- 对于TFLN光子设备,需要更简单的制造方法.
研究的目的:
- 通过使用多模干扰 (MMI) 在TFLN上演示一种新的PSR.
- 为了实现模式分离,放松制造约束.
- 为了实现低成本制造双极化TFLN光子设备.
主要方法:
- 使用MMI原则在TFLN上设计和制造PSR.
- 使用基于MMI的模式解复合器进行模式划分.
- 达到1.5微米的最小特征尺寸,与i-line接触对齐器兼容.
主要成果:
- 证明了PSR,其最小特征大小为1.5微米.
- 在TE-极化光 (1530-1578 nm) 实现极化灭绝比 (PER) > 16 dB和插入损失 (IL) < 1.0 dB.
- 在TM偏光 (1530-1569nm) 中,实现了PER>10.0dB和IL<2.1dB.
结论:
- 与传统方法相比,TFLN上的基于MMI的PSR提供了简化的制造过程.
- 该设备在广泛的波长范围内在PER和IL方面实现了高性能.
- 这项技术有助于成本效益高的双极化TFLN集成光子设备的生产.
