高性能La_1-xAl_xF₃ 纳米复合材料涂层,通过共同蒸发技术制备

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光学工程是指光学工程.
• 薄膜技术 薄膜技术

背景情况:

• 化兰 (LaF) 涂层对于光学应用至关重要.
• 为深紫外 (DUV) 和真空紫外 (VUV) 应用优化LaF需要解决结晶性和应力等挑战.

研究的目的:

• 为了研究化 (AlF) 兴奋剂对LaF纳米复合材料涂层的影响.
• 评估组合对光学特性,微观结构和残余应力的影响.
• 为了开发高性能的DUV/VUV薄膜.

主要方法:

• 在化基板上使用双源电子束共同蒸发制造了Al1-x和F3纳米复合材料涂层.
• 系统地分析了组合,光学,微观结构和残余应力特性.
• 准备了高反射涂层,并对反射率和薄膜质量进行了表征.

主要成果:

• 注AlF₃降低了折射率,但显著提高了整体涂层性能.
• 增加的AlF3含量导致晶度降低,表面粗,残余应力和光学损失.
• 与纯LaF相比,纳米复合材料涂层 (x ≥ 0.3) 呈现出无形结构,光滑的表面和较低的吸收.
• 193nm的La_0.70Al_0.30F₃/AlF₃涂层实现了98.7%的反射率,具有卓越的膜质量.

结论:

• La_1-xAl_xF₃纳米复合材料显示了DUV和VUV薄膜应用的巨大潜力.
• 合涂料的无形结构和减少应力提高了耐用性和光学性能.
• 这些发现为要求苛刻的光谱区域的先进光学涂层铺平了道路.