使用氧化p电极提高基于InGaN的微LED的效率
Optics express
|November 14, 2024
概括
用透明的氧化物 (ITO) 电极取代不透明的金属电极,可以显著提高氧化物 (InGaN) 基微型发光二极管 (微型LED) 的光输出和外部量子效率 (EQE). 这一策略提供了一种通用方法,可以在各种颜色中提高微型LED的性能.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体设备 半导体设备
背景情况:
- 基于化 (InGaN) 的微型发光二极管 (微型LED) 对于先进的显示和照明应用至关重要.
- 传统的微型LED经常使用不透明的金属p电极 (例如,Cr/Pt/Au),由于吸收,这限制了光取效率.
研究的目的:
- 在基于InGaN的微型LED中,研究用透明的氧化 (ITO) p电极取代不透明金属p电极.
- 为了提高微LED的光输出功率和外部量子效率 (EQE).
主要方法:
- 使用ITO p电极制造绿色的微LED阵列 (20x20 μm2和50x50 μm2).
- 与ITO和传统金属p电极的设备之间的光学和电气性能指标 (光输出功率,EQE) 的比较.
- ITO p电极属性的表征,包括传导率和电阻率.
主要成果:
- ITO p电极在可见光谱中表现出高传导率 (∼80%) 和低电阻.
- 与金属p电极设备相比,带有ITO p电极的微LED显示光输出功率提高了1.20-1.25倍.
- 在晶圆上,ITO设备的EQE达到7.36%,从金属设备的5.98%-6.16%大幅增加,当电流密度≤1.6A/cm2.
结论:
- 用透明的ITO p电极取代不透明的金属p电极是提高微LED光输出和EQE的有效策略.
- ITO p电极方法与红色,绿色和蓝色的微型LED配置兼容,提供了通用的性能增强解决方案.
