概括
侧扫描白光干扰仪 (LS-WLI) 能够对大视野进行高速地形检查. 这种方法通过拉伸边缘间距来提高舞台速度,允许进行详细的微观结构分析.
科学领域:
- 计量学 计量学 计量学
- 光学工程是指光学工程.
- 表面计量学 表面计量学
背景情况:
- 传统的白光干涉测量 (WLI) 在高速检查大视野 (FOV) 时存在局限性.
- 阶段转移算法需要特定的干扰信号采集条件,通常限制测量速度.
- 在大面积上实现高分辨率地形需要干扰测量技术的进步.
研究的目的:
- 引入和验证一种新的横向扫描白光干扰测量 (LS-WLI) 技术.
- 为了提高大型FOV应用的地形测量速度和效率.
- 为高速,大面积的表面检查适应相位移算法.
主要方法:
- 开发一个横扫描白光干扰测量 (LS-WLI) 系统.
- 应用适应拉伸边缘间距的相位移算法.
- 在特定条件下获取干扰信号以满足相位转移要求.
- 用于地形绘图的高速数据采集和处理.
主要成果:
- 成功实施LS-WLI用于大型FOV的地形检查.
- 在固定摄像头速度下,以增强的舞台速度进行高速测量的演示.
- 产生一个横向扩展的拓图像,尺寸为5.25mm × 1.25mm.
- 精确测量微观结构的阶段高度为140 nm.
结论:
- LS-WLI有效地克服了传统WLI在大面积,高速地形测量方面的局限性.
- 适应的相位移动技术使阶段移动更快,而不会影响测量准确度.
- 该方法为在扩展视野上进行详细的微观结构分析提供了强大的解决方案.
