概括
本研究引入了一种使用可变形镜的活性补偿方法,用于纠正大孔干扰仪的系统错误. 该技术有效地纠正参考波面扭曲,提高测量精度.
科学领域:
- 光学工程是指光学工程.
- 计量学 计量学 计量学
- 干涉测量是干涉测量的方法.
背景情况:
- 大光圈干扰仪容易受到由材料不均性,制造和重力造成的系统性错误的影响.
- 这些错误导致参考波面扭曲,限制了大型光学系统的测量精度.
研究的目的:
- 提出和验证一个主动补偿方法,用于大光圈平面干扰仪的系统错误.
- 用可变形镜来减轻参考波面扭曲.
主要方法:
- 开发了一种使用可变形镜来调节参考波面的活性补偿方法.
- 矩阵光学推导出了可变形镜子 sag 和波面误差之间的关系.
- 基于可变形镜子放置 (在瞳孔上或附近) 的两个光学路径设计被考虑.
- 创建了一个算法来计算和控制可变形镜子的斜率,独立于瞳孔的位置.
主要成果:
- 开发的算法有效地弥补了在1000毫米孔径平面干扰仪中故意引入的系统错误.
- 算法的误差大约为10-6毫米,在可接受的宽容范围内,对于可变形的镜面形状.
- 安西斯Zemax优化确定了最佳可变形镜面形状.
结论:
- 拟议的活性补偿方法成功地纠正了大光圈干扰仪中的系统错误和参考波面扭曲.
- 可变形镜控制算法提供了一个灵活而准确的解决方案,用于改进干扰测量测量.
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