集成的电光调制器在氧化-化-化异质平台上的氧化

科学领域:

• 光电学是指光电子产品.
• 材料科学 材料科学 材料科学

背景情况:

• 集成电光 (EO) 调制器对于光电子信息技术至关重要.
• 目前的标准酸,由于有限的电光系数影响调制效率,具有局限性.

研究的目的:

• 介绍一个新的集成EO调节器设计.
• 克服现有材料的局限性,提高调制效率和带宽.

主要方法:

• 在氧化 (PZT) 和化 (SiN) 不同质的平台上制造微环共振器.
• 使用低损耗SiN作为电极基板,以减少微波衰减.
• 优化PZT薄膜沉积和EO重叠,以实现高性能.

主要成果:

• 通过0.7V·cm的半波电压长度乘积,实现了超高的调制效率.
• 达到了33GHz的电光带宽.
• 成功生成了一个80Gbps的开关键信号.

结论:

• PZT/SiN异质平台为集成的EO调节器提供了卓越的性能.
• 这一进步为更高效和更高速的光电子设备铺平了道路.
• 证明了迈向下一代光通信系统的重要一步.