概括
这项研究展示了一种新的波长选择性检测系统,用于短波红外应用. 它将InGaAs光探测器与在绝缘体上的干扰仪集成在一起,实现高性能和低暗电流.
科学领域:
- 光子学和光电学和光电子学.
- 光谱传感感应的光谱检测
- 光学通信是指光学通信.
背景情况:
- 短波红外 (SWIR) 范围对于先进的传感和光通信至关重要.
- 紧的光学解决方案需要积极和被动光子组件的异质整合.
- 现有系统在波长选择性和集成效率方面面临挑战.
研究的目的:
- 开发和演示一个新的波长选择性检测系统在2μm波段.
- 为了实现InGaAs光探测器和在绝缘体 (SOI) 上的马赫-泽恩德干扰仪的异质集成.
- 为了建立一个新的对微传输打印集成探测器的黑暗电流密度的基准.
主要方法:
- 网格合的InGaAs光探测器与双通道马赫-泽恩德干扰仪的异质集成.
- 干扰仪在在绝缘体 (SOI) 晶圆上的制造.
- 使用微传输打印用于检测器集成.
主要成果:
- 展示了在2μm波段运行的波长选择性检测系统.
- 实现了0.1A/W的系统响应.
- 获得的波长排斥比率大于9.5dB,并为集成探测器报告的最低暗电流密度 (7.6×10−4A/cm2在-2V).
结论:
- 不同质的整合方法使得紧而高效的波长选择性检测系统成为可能.
- 开发的系统显示了光谱传感和光通信应用的巨大潜力.
- 实现的低暗电流密度为集成光探测器性能设定了新的标准.
