概括
本研究引入了一种高精度双测距 (DCR) 方法,用于准确的短距离测量. 与以前的方法相比,新技术显著提高了距离分辨率和精度.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 计量学 计量学 计量学
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
背景情况:
- 准确的短距离测量在各种科学和工业应用中至关重要.
- 现有的方法,如激光干扰测量,在精度和动态范围方面面临限制.
- 双测距 (DCR) 为高分辨率测量提供了潜力,但需要优化.
研究的目的:
- 开发一个高精度的双测距 (DCR) 方法用于短距离测量.
- 提高DCR系统的精度和动态距离分辨率.
- 为了避免在DCR系统中复杂的载体-信封-补偿锁定.
主要方法:
- 实施一个高精度双射程 (DCR) 系统.
- 引入交叉极化检测,以利用干涉图的连贯性.
- 运载波相差 (CPD) 计算算法的开发,使用心体提取.
主要成果:
- 在10μm的距离下,实现了低于10nm的动态距离分辨率.
- 与之前的工作相比,将载波相差 (CPD) 的标准偏差降低了8倍.
- 与He-Ne激光干扰仪相比,在4.8毫米范围内,证明的残余误差小于±40nm.
结论:
- 拟议的DCR方法为短距离测量提供了更高的精度和分辨率.
- 新的CPD算法和交叉极化检测显著提高了系统性能.
- 该技术为微尺度计量学提供了传统干扰测量的强大而准确的替代方案.
