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Updated: Jun 6, 2025
07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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5.5 GHz薄膜批量声波过器使用薄膜传输工艺用于WLAN应用程序
Tingting Yang1, Chao Gao1, Yaxin Wang1
1The Institute of Technological Sciences, Hubei Key Laboratory of Electronic Manufacturing and Packaging Integration, Wuhan University, 430072, Wuhan, China.
Microsystems & nanoengineering
|November 24, 2024
概括
本研究介绍了使用AlScN薄膜的先进电影批量声学共振器 (FBAR),以实现卓越的无线局域网 (WLAN) 性能. 这些新的FBAR实现了更高的频率和更高的效率,用于下一代Wi-Fi.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 物理 物理学 物理
背景情况:
- 无线局域网 (WLAN) 需要高性能过器以提高效率和稳定性.
- 传统的薄膜批量声学共振器 (FBAR) 在晶度和制造上面临高频应用 (>5 GHz) 的局限性.
- 基于化 (AlN) 的FBAR表现出内部压力和复杂制造方面的挑战.
研究的目的:
- 为WLAN应用设计和制造先进的FBAR和过器.
- 克服5 GHz以上频率的传统FBARs的局限性.
- 为了利用AlScN薄膜和薄膜转移工艺的特性.
主要方法:
- 通过物理蒸汽沉积 (PVD) 来沉积AlN种子层和Al0.8Sc0.2N膜.
- 薄膜转移使用晶圆粘合,翻转和去除.
- 制造FBAR和网格式过器,整合传统制造.
主要成果:
- 实现了FBAR的5.5GHz的共振频率,其有效电机联接系数 (k2eff) 为13.8%.
- 在制造的FBAR中表现出85个优秀的优点 (FOM) 数字.
- 开发了一种具有5.5GHz中心频率和306MHz带宽的网格式过器,用于Wi-Fi UNII-2频段.
结论:
- 开发的基于AlScN的FBAR和过器满足了对WLAN更高频率和更高性能的需求.
- 薄膜转移工艺与AlScN相结合,为高频FBAR制造提供了可行的解决方案.
- 这些进步支持对现代WLAN应用程序至关重要的高数据速率和吞吐量.
