在 (001) InP基板上生长的格子匹配的InAlAs层表面上的坑的性质
Dmitrii V Gulyaev1, Demid S Abramkin1,2,3, Dmitriy V Dmitriev1
1Laboratory of Molecular-Beam Epitaxy of A3B5 Compounds, Institute of Semiconductor Physics, SB RAS, Novosibirsk 630090, Russia.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|November 26, 2024
概括
在InAlAs/InP层中的表面坑和组成集群与线程位移有关. 它们的形成是由局部压力场驱动的,这些压力场影响了在分子束表生长过程中印亚达的结合.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
- 表面科学是一门学科.
背景情况:
- 格子匹配的InAlAs/InP异构结构对于光电子设备至关重要.
- 了解表面形态和组成对于设备的性能至关重要.
研究的目的:
- 为了研究InAlAs/InP层的结构性质,通过分子束的epitaxy生长.
- 为了确定表面坑和组成集群形成背后的机制.
主要方法:
- 原子力显微镜 (AFM) 的应用
- 扫描电子显微镜 (SEM) 的使用
- 微光光照射光谱学 微光光照射光谱学
主要成果:
- 观察到表面坑 (2-10纳米深,微米范围的大小) 和成分不均性 (0.7%).
- 坑密度 (5x10^5 - 10^8 cm^-2) 是由InP的热温度和InAlAs的组成控制的.
- 坑的尺寸受到InAlAs层厚度和生长温度的影响.
结论:
- 一个模型表明,线程位移附近的局部应变场会导致坑和集群的形成.
- 线程位移会影响在 adatom 整合动力学上,导致表面缺陷.
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