在 (001) InP基板上生长的格子匹配的InAlAs层表面上的坑的性质

Dmitrii V Gulyaev1, Demid S Abramkin1,2,3, Dmitriy V Dmitriev1

  • 1Laboratory of Molecular-Beam Epitaxy of A3B5 Compounds, Institute of Semiconductor Physics, SB RAS, Novosibirsk 630090, Russia.

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概括

在InAlAs/InP层中的表面坑和组成集群与线程位移有关. 它们的形成是由局部压力场驱动的,这些压力场影响了在分子束表生长过程中印亚达的结合.