MEMS

Jing Zhou1,2, Hui Zhang3,4,5,6, Qifeng Qiao7

  • 1School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai, China.

Nature communications
|November 26, 2024
PubMed
概括

我们开发了一种新的光子学光谱仪,使用MEMS调和AI无声化. 这项技术在噪音条件下显著提高了光谱分辨率,为宽带光谱分析提供了具有成本效益的解决方案.