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Updated: May 24, 2026
07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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一个基于LiNbO3的侧面激发的批量声波共振器,带有弧形电极
Jieyu Liu1, Wenjuan Liu1,2, Zhiwei Wen1
1The Institute of Technological Sciences, Wuhan University, Wuhan 430072, China.
Micromachines
|November 27, 2024
概括
研究人员使用弧形电极开发了一种新的酸 (LiNbO3) 薄膜共振器 (XBAR). 这种设计可以抑制虚假模式,并在5GHz以上运行,从而提高5G通信设备的性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 声学 声学 在声学方面
背景情况:
- 高频和大带宽对于现代通信系统至关重要.
- 酸 (LiNbO3) 薄膜为高频共振器提供出色的压电性能.
- 侧面激发的批量声波共振器 (XBAR) 适用于高频应用,但存在虚假模式.
研究的目的:
- 为了呈现一个基于薄膜的Z切割LiNbO3XBAR与弧形电极.
- 为了研究弧形电极对电场分布和模式形状的影响.
- 为了比较XBARs与弧形和传统数字间传感器 (IDT) 的性能.
主要方法:
- 制造350纳米Z切割LiNbO3薄膜XBAR与弧形电极.
- 在XBAR.内调查电场分布.
- 将模式形状和阻抗响应与传统的IDT设计进行比较.
主要成果:
- 制造出来的XBAR在5GHz以上的频率上工作.
- 实现了高效电机联接系数29.8%.
- 虚假模式通过弧形电极设计被有效地抑制.
结论:
- 弧形电极优化了LiNbO3 XBARs中的电场分布.
- 这种设计显著抑制了虚假模式,提高了共振器的性能.
- 优化的XBAR设计对先进的5G通信应用具有前景.
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