使用连续蓝色WBC (波长束组合) 技术的高生产率激光制制造方法
Mitsuoki Hishida1, Naohiko Kobata1, Kentaro Miyano1
1Panasonic Connect Co., Ltd., 3-1-1 Inazu-cho, Toyonaka City 561-0854, Osaka, Japan.
Materials (Basel, Switzerland)
|November 27, 2024
概括
这项研究引入了一种新的蓝色激光回火方法,用于高流动性薄膜晶体管 (TFT),显著提高生产率. 新的连续波激光工艺实现了传统方法输出的两倍,降低了成本并提高了效率.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
- 激光技术 激光技术 激光技术
背景情况:
- 低温多晶 (LTPS) 薄膜晶体管 (TFT) 需要高效的激光火.
- 目前的蓝色激光回火方法面临着低生产率和高成本的挑战.
- 脉冲催化激光器是传统的,但对于高功率的蓝色激光火效率较低.
研究的目的:
- 为TFT开发一种高生产率的蓝色激光回火工艺.
- 为了提高蓝色激光在LTPS制造中的能量传递效率.
- 为了克服半导体制造中传统脉冲激光器的局限性.
主要方法:
- 使用波长束组合 (WBC) 开发了一种蓝色激光光源 (440 ± 10 nm).
- 使用连续波激光器,而不是脉冲激光器.
- 通过开发的系统,实现了73.7kW/cm2的激光功率密度.
主要成果:
- 激光扫描速度增加了5.0倍,功率增加了2.9倍.
- 与传统的激光火方法相比,实现了两倍的生产率.
- 获得了100%的结晶率,晶粒为215μm,电阻低 (0.04 Ωcm).
结论:
- 开发的蓝色激光回火工艺显著提高了TFT生产能力.
- 连续波蓝激光技术在生产效率方面提供了几何渐进.
- 这一进步解决了LTPS TFT制造中的成本和生产率问题.
