研究基于多层接口反射反射的深度感应光学系统的方法
Chen Yu1,2, Ying Liu1, Linhan Li1,2
1Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|November 27, 2024
概括
一种新的深度探测方法使用半环形光束对透明样品进行高分辨率成像. 这种技术实现了优异的横向分辨率 (0.68微米) 和聚焦精度 (0.60微米),减少了干扰,以便进行详细的观察.
科学领域:
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 计量学 计量学 计量学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 观察透明样品的多层反射表面在实现高分辨率和最小化干扰方面存在挑战.
- 现有的深度探测技术可能会与透明材料复杂的光学特性作斗争.
研究的目的:
- 提出和验证一种新的深度探测方法,利用半圆形光束的活性辐射.
- 为了提高分辨率和减少干扰,在成像时使用多层反射表面的透明样品.
主要方法:
- 开发一个模型来计算一个不对称的孔径隔膜的光学能量分散分布.
- 演数学公式以根据振幅分布的第一个暗环来确定系统分辨率.
- 对拟议的深度传感系统进行光学模拟和实验验证.
主要成果:
- 开发的深度传感系统实现了0.68μm的侧面分辨率 (δr).
- 该系统展示了0.60微米的聚焦精度 (δz).
- 实验结果与模拟结果一致,证实了模型的准确性.
结论:
- 半环形光束深度传感方法有效地提高了分辨率,并减少了透明样品的干扰.
- 经过验证的数学模型准确地预测了衍射光的振幅分布.
- 这种技术为高精度光学计量学和材料分析提供了有前途的方法.


