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Updated: Jun 5, 2025
07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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一个高收益的覆盖式波导放大器在使用光刻法辅助的化学机械蚀刻制造的尼酸薄膜上
Youting Liang1,2, Junxia Zhou1,2, Zhaoxiang Liu2
1State Key Laboratory of Precision Spectroscopy, East China Normal University, Shanghai 200062, China.
Nanophotonics (Berlin, Germany)
|December 5, 2024
概括
集成波导放大器在散装材料上具有优势. 这项研究表明,氧化 (Ta2O5) 覆盖了被的酸 (LN) 波导,在光波通信中实现了超过20dB的净增益.
科学领域:
- 光子学和光学工程的工程.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
背景情况:
- 集成的波导放大器,特别是辅助的波导放大器,对于光波通信和传感至关重要.
- 集成设备的挑战包括由于模式限制和传播损失而实现高增益和功率扩展.
- 绝缘体上的酸 (LNOI) 平台为先进的集成光子设备提供了潜力.
研究的目的:
- 为了增强酸 (LN) 波导放大器中的光学增益.
- 为了研究氧化 (Ta2O5) 覆盖层对放大器性能的影响.
- 探索光学应用的集成波导放大器的可扩展性和效率.
主要方法:
- 在LNOI晶片上制造带有的LN波导,使用光刻法辅助化学机械蚀刻 (PLACE).
- 加入一个薄薄的氧化 (Ta2O5) 覆盖层.
- 在~1532 nm的信号波长下,使用二极管激光在~980 nm送的微信号净增益的表征.
- 引导模式结构的理论建模和离子平稳状态响应.
主要成果:
- 在10厘米长的LNOI放大器中,实现了超过20dB的小信号内部净增益.
- 与气放大器相比,使用Ta2O5层显示出优异的光学增益.
- 通过波导放大器的理论建模验证的实验结果.
结论:
- 氧化 (Ta2O5) 层显著增强了添加LNOI波导放大器的光学增益.
- 开发的集成放大器显示了对节能和可扩展光子应用的承诺.
- 这项工作有助于推进电信和传感的集成光学.
