直接激光写3D金属中和远红外波组件的3D金属

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术
• 激光处理 激光加工

背景情况:

• 直接制造3D银微结构对于先进的电子和光子学至关重要.
• 现有的方法通常在速度,分辨率或基板兼容性方面面临限制.

研究的目的:

• 介绍一种用于直接制造3D银微结构的新方法.
• 为了在各种基板上实现高制造吞吐量和多功能性.
• 为了使光子元件能够创建导电银色拓图.

主要方法:

• 使用激光诱导的白银离子光降解到白银原子.
• 采用核化和基板功能化,用于增强制造.
• 包含3D结构的多重曝光制造工艺.

主要成果:

• 实现高制造速度,最高可达1厘米/秒.
• 产生最小特征大小小小于1μm的微结构.
• 显示分辨率超过750行/毫米,电阻率为3.0 × 10−8 Ωm.
• 能够制造长度为几毫米的导电银地形.

结论:

• 新的光敏悬浮和制造方案使前所未有的制造速度成为可能.
• 这项技术允许单步制造具有量身定制光谱特征的光子元件.
• 该方法提供了一个多功能平台,可以在各种基板上创建复杂的3D银结构.