用激光写作诱导的选择性化学蚀刻制造酸叉格的制造
Tianxin Wang1, Xiaoyi Xu1, Lei Yang1
1National Laboratory of Solid State Microstructures, College of Engineering and Applied Sciences, School of Physics, and Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, Nanjing University, Nanjing, 210093, China.
Nanophotonics (Berlin, Germany)
|December 5, 2024
概括
我们开发了一种激光写字技术,精确地蚀刻酸 (LN) 晶体,大大提高了微型制造的蚀刻速度. 这种无面具的方法可以有效地创建诸如叉等结构,用于产生束.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学是什么?光学是什么?光学是什么?
- 晶体学 晶体学是指结晶学.
背景情况:
- 酸 (LN) 晶体微制造对于光子设备至关重要.
- 现有的方法往往需要面具,并且可能是低效的.
- 控制域结构和缺陷是定制LN属性的关键.
研究的目的:
- 介绍和演示一种新的激光写作诱导的选择性化学蚀刻 (LWISCE) 技术.
- 为了实现无面具的,高效的LN晶体微型制造.
- 制造微观结构,用于产生束.
主要方法:
- 选择性化学蚀刻尼酸盐晶体.
- 激光写作用于诱导负域,域墙和格子缺陷.
- 在X切割的LN晶体制造叉子格子.
主要成果:
- 与未经处理的LN相比,LWISCE显著提高了激光诱导边界 (26x) 和中心区域 (16x) 的蚀刻速度.
- 实现了对制造的叉格结构宽度和深度的精确控制.
- 使用制造的网格成功生成了束.
结论:
- 路易斯 (LWISCE) 是一种有效的无罩式微型制造技术,用于LN晶体.
- 该方法提供了对结构尺寸的精确控制.
- LWISCE可能适用于其他铁电晶体,如坦酸和酸酸.


