Behzad Jazizadeh1, Maksym Myronov2

  • 1Department of Physics, The University of Warwick, Coventry, CV4 7AL, UK.

Scientific reports
|December 5, 2024
PubMed
概括

在上培养的立方碳化 (3C-SiC) 中控制应变是微电机械系统 (MEMS) 的关键. 在生长过程中,碳与的比率决定了应变,使得设备制造的定制晶圆弓成为可能.