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Updated: Jun 5, 2025
07:51
Fabrication of Silica Ultra High Quality Factor Microresonators
Published on: July 2, 2012
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西蒙斯天文台:中高频和超高频晶片的生产级制造
Shannon M Duff1, Jason Austermann1, James A Beall1
1Quantum Sensors Division, National Institute of Standards and Technology, 325 Broadway, Boulder, 80305 CO USA.
Journal of low temperature physics
|December 9, 2024
概括
西蒙斯天文台为超导探测器阵列开发了一个强大的制造框架,确保为宇宙微波背景研究及时交付100多个组件. 这个框架实现了探测器晶片的高产量,这对于仪器集成至关重要.
科学领域:
- 宇宙学和天体物理学
- 仪器仪表和测量仪器的使用
背景情况:
- 西蒙斯天文台 (SO) 是一套旨在研究宇宙微波背景 (CMB) 的仪器.
- SO将部署超过65,000个极化敏感过渡边缘传感器 (TES) 博洛米特,跨越广泛的频率范围 (27280 GHz).
- 关键组件包括中频 (90/150 GHz) 和超高频 (220/280 GHz) 探测器阵列.
研究的目的:
- 建立和验证SO探测器阵列和相关路由晶片的生产级制造框架.
- 确保超导焦平面组件的及时和高产量生产.
主要方法:
- 开发一个全面的制造框架,包括单个设备原型,工艺监测,工艺测量和冷测量.
- 实施该框架用于生产探测器阵列和单体直流/射频路由晶片.
- 严格测试和验证关键膜特性和设备性能.
主要成果:
- 成功开发和应用一个强大的,生产级的制造框架.
- 将近100个超导焦平面组件及时交付给西蒙斯天文台.
- 实现了高通道收益率 () 和晶圆收益率 (),满足模块集成的标称标准.
结论:
- 已建立的制造框架有效地生产高质量的超导探测器阵列.
- 该框架确保了具有高产量的关键组件的及时交付,支持SO的科学目标.
- 这项工作证明了制造用于CMB研究的复杂探测器模块的可靠方法.
