使-

Nick Feldman1,2, Kian M M Goeloe1, Arie J den Boef2,3,4

  • 1Department of Information in Matter and Center for Nanophotonics, AMOLF, Science Park 104, 1098 XG Amsterdam, The Netherlands.

ACS photonics
|December 23, 2024
PubMed
概括

这项研究引入了一种新的纳米级移位传感平台,使用衍射超表面和极度里埃显微镜. 它实现了对纳米位移的高精度测量,这对于半导体制造至关重要.