在HFCVD反应堆中的异质反应:使用2D模型进行模拟
Xochitl Aleyda Morán Martínez1, José Alberto Luna López2, Zaira Jocelyn Hernández Simón1
1CONAHCYT-Posdoctorado-Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores (CIDS-ICUAP), Benemérita Universidad Autónoma de Puebla (BUAP). Col. San Manuel, Cd. Universitaria, Av. San Claudio y 14 sur, Edif. IC5 y IC6. Puebla, Pue., 72507 México.
一个2D模拟模拟的氧化 (SiO) 薄膜在热化学蒸汽沉积 (HFCVD) 反应堆中的生长. 该模型准确地预测了关键参数和物种度,这对于开发先进的介电和光电子设备至关重要.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
- 计算物理 计算物理
背景情况:
- 氧化 (SiO) 薄膜对于半导体设备至关重要.
- 热丝化学蒸汽沉积 (HFCVD) 是一种可行的SiO薄膜合成方法.
- 了解HFCVD中的基本化学反应是优化膜特性的关键.
研究的目的:
- 在HFCVD反应堆中开发和验证SiO膜生长的2D模拟模型.
- 研究基本的化学反应和控制沉积过程的关键参数.
- 为了准确的模拟,将热化学数据与反应器温度概况相关联.
主要方法:
- 采用2D数值模型,使用有限元法 (COMSOL多物理) 解决连续性,动量,热量和扩散方程.
- 对前体反应 (石英和) 进行了热化学研究,以确定平衡常数.
- 用实验温度测量来验证在不同沉积条件下模拟模型的有效性.
主要成果:
- 模拟证实了增长贡献物种的层状流动.
- 细丝和源附近的重要物种 (H°和SiO) 的度概况与预期的分布相匹配.
- 该模型成功地模拟了基板温度范围为450-500°C的HFCVD反应堆关键参数.
结论:
- 经过验证的2D模型提供了一个强大的工具,可以通过HFCVD模拟SiO膜的生长.
- 精确模拟物种度对于控制SiO薄膜特性至关重要.
- 这些具有嵌入纳米结构的SiO薄膜对兼容的介电,光电子和电声设备具有前景.
更多相关视频
07:24Combustion Chemistry of Fuels: Quantitative Speciation Data Obtained from an Atmospheric High-temperature Flow Reactor with Coupled Molecular-beam Mass Spectrometer
Published on: February 19, 2018
12:12On the Preparation and Testing of Fuel Cell Catalysts Using the Thin Film Rotating Disk Electrode Method
Published on: March 16, 2018
相关概念视频
Homogeneous Equilibria for Gaseous Reactions
For gas-phase reactions, the equilibrium constant may be expressed in terms of either the molar concentrations (Kc) or partial pressures (Kp) of the reactants and products. A relation between these two K values may be simply derived from the ideal gas equation and the definition of molarity. According to the ideal gas equation:
Coupled Reactions
Energy in adenosine triphosphate or ATP molecules is easily accessible to do work. ATP powers the majority of energy-requiring cellular reactions....
Typical Model Studies
Thermal Sigmatropic Reactions: Overview
Sigmatropic shifts are classified based on an order term [i, j ], where i and j indicate the number of atoms across which each end of the σ bond migrates. Below are examples of a [3,3] sigmatropic shift in...
Chemical Equilibria: Systematic Approach to Equilibrium Calculations
The first step is to identify all the chemical reactions involved, The...
Multi-Step Reactions
