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Lisha Liu1, Jiaojiao Yi2, Kun Xu3,4

  • 1School of Materials Science and Engineering, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, Nanjing, China. lishaliu@njust.edu.cn.

Nature communications
|December 31, 2024
PubMed
概括

铁电膜现在可以承受高温. 本研究介绍了氧化 (Pb(Zr,Ti) O3) 薄膜的自抛光方法,用于提高要求高的微电机系统应用的压电特性.