在芯片上储存能源的微型电池的光刻微制造
Yuan Ma1,2, Sen Wang3,4, Zhong-Shuai Wu5,6
1State Key Laboratory of Catalysis, Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Dalian, 116023, People's Republic of China.
Nano-micro letters
|January 8, 2025
概括
光成像是微型电池 (MB) 的关键制造技术,对于供电物联网设备至关重要. 本综述探讨了它在MB开发中的原则,应用和未来潜力.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 微型电池 (MB) 对微型物联网 (IoT) 设备至关重要.
- 制造技术对于MB设计,精度和大规模生产至关重要.
- 光成像技术为微型制造提供了高分辨率和设计灵活性.
研究的目的:
- 在微型电池制造中全面审查光电法应用.
- 评估MBs的光刻微型制造的现状和未来前景.
- 在这个专业领域提供见解和研究灵感.
主要方法:
- 详细解释光刻法原理和程序.
- 对光电阻选择标准的讨论.
- 分析光刻版在MB制造中的多种角色.
主要成果:
- 光刻版作为微型图案的模板,保护层,软刻版的模具,活性成分和牺牲层.
- 确定了在创建微型瑞士卷结构中的特定应用.
- 强调了该技术在MB制造中的多功能性.
结论:
- 光成像是一种强大的技术,用于先进的微型电池制造.
- 解决当前的挑战和探索未来的前景对于进步至关重要.
- 本次审查巩固了知识,并刺激了对光刻制造的MB的进一步研究.


