灵活的微机超声传感器 (MUT) 用于生物医学应用
Sanjog Vilas Joshi1, Sina Sadeghpour2, Nadezda Kuznetsova3
1Department of Electrical Engineering (ESAT-MNS), KU Leuven, Belgium. sanjogvilas.joshi@kuleuven.be.
Microsystems & nanoengineering
|January 15, 2025
概括
灵活的微机超声传感器 (MUT) 提供先进的生物医学成像,传感和刺激功能. 本综述探讨了它们的制造,材料和性能,强调了高性能灵活MUT的未来机会.
科学领域:
- 生物医学工程 生物医学工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 超声波技术 超声波技术 超声波技术
背景情况:
- 传统的散装压电式传感器阵列受到其刚性的限制.
- 微加工超声传感器 (MUT),包括压电式 (PMUT) 和电容式 (CMUT) 类型,提供曲模式操作.
- 进步使灵活的MUT可以用于各种生物医学应用的开发成为可能.
研究的目的:
- 审查对柔性微机超声传感器 (MUT) 的需求.
- 讨论灵活的MUT的潜在应用,规格,材料和制造.
- 为了比较灵活的PMUT和CMUT的性能.
主要方法:
- 关于微机超声波传感器技术的现有文献的综述.
- 详细讨论灵活MUT的制造方法.
- 灵活的PMUT和CMUT性能指标 (共振频率,灵敏度,灵活性) 的比较分析.
主要成果:
- 灵活的MUT,利用PMUT和CMUT原则,显示出先进的生物医学应用的前景.
- 像共振频率,灵敏度和灵活性这样的关键性能参数在PMUT和CMUT设计之间有所不同.
- 制造技术和材料显著影响灵活的MUT的性能.
结论:
- 灵活的MUT比传统的散装传感器具有显著的进步.
- 需要进一步的研究来克服在实现高性能和灵活性同时实现的挑战.
- 有机会开发下一代灵活的MUT,用于增强生物医学成像,传感和刺激.
