洞穴光学转换器平台与集成的电源为多传感应用程序.
Thomas Michels1, Vladimir Aksyuk1
1Center for Nanoscale Science and Technology, National Institute of Standards and Technology, Maryland, USA.
概括
我们使用微电机系统 (MEMS) 技术开发了一种紧的芯片上的光机械传感器. 该设备实现了先进的共振和非共振传感器的超低位移噪声.
科学领域:
- 视觉机械学 视觉机械学
- 微电机系统 (MEMS) 是指微电机系统.
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 微电机系统 (MEMS) 为传感器提供了紧,坚固和潜在的低成本制造.
- 光机械系统可以通过光物质相互作用进行敏感的位移测量.
- 整合这些技术是下一代传感平台的关键.
研究的目的:
- 为了展示一个新的芯片内腔光机械传感器平台.
- 为了将高的测量带宽与非常低的位移噪声底层相结合.
- 为了利用MEMS制造提供紧和可扩展的传感器解决方案.
主要方法:
- 使用的表面微加工的在绝缘体 (SOI) 光子,化结构和金属电气驱动层.
- 采用前后散装微加工用于V槽和悬浮吊顶.
- 集成的微盘光学腔体用于机械运动的光学读取.
主要成果:
- 在广泛的机械刚度 (0.2 N/m至200 N/m) 中,实现了低于10 fm/√Hz的位移噪声底部.
- 证明了用于设备控制和读出增强调节的电动执行 (电热/静电).
- 制造的纤维pigtailed传感器集成多个MEMS层.
结论:
- 开发的光机械传感器平台提供了高性能和小型化的独特组合.
- 这项技术使得各种高性能芯片上的共振和非共振传感器成为可能.
- 该平台的可扩展性和低成本制造潜力为在传感应用中广泛采用铺平了道路.


