边缘纹理驱动滴滴测量 端到端 网络 基于物理 偏差 恢复一致性 扫描 干涉计
Zhou Zhang1, Jiankui Chen1, Hua Yang1
1State Key Laboratory of Intelligent Manufacturing Equipment and Technology, School of Mechanical Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China.
Micromachines
|January 25, 2025
概括
一种新方法使用单个干扰图准确地测量喷墨印刷有机发光二极管 (OLED) 滴滴量,克服了无缺陷制造的连贯扫描干扰仪 (CSI) 的挑战.
科学领域:
- 计量学 计量学 计量学
- 光学工程是指光学工程.
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 精确的滴滴体积测量对于喷墨印刷OLED零缺陷制造至关重要.
- 传统的连贯扫描干涉测量 (CSI) 面临着无特征滴滴的挑战,由于多余的采样和图像退化,导致效率和精度降低.
研究的目的:
- 开发一种新,高效,准确的方法来测量喷墨印刷OLED中的滴滴体积.
- 为了解决CSI的局限性,特别是冗余采样和图像退化.
主要方法:
- 建议通过边缘分布模块 (VMFD) 进行体积测量,从单个干扰图直接进行体积测量.
- 为CSI成像建模了3D点传播函数 (PSF),并开发了一个Zernike到PSF (ZTP) 模块来计算偏差.
- 设计了一个物理偏差恢复网络 (PARN),使用道变压器和U-net架构来消除图像退化.
- 使用受约束回归网络 (CRN) 模块从恢复的边缘进行体积测量.
主要成果:
- 在VMFD方法允许直接体积测量没有冗余采样.
- 帕恩有效地消除了图像退化,改善了边框质量.
- 实验表明,与传统的CSI相比,有望消除模糊,提高测量精度和提高效率.
结论:
- VMFD方法为喷墨印刷OLED的滴滴体积测量提供了显著的进步.
- 这种方法提高了准确性和效率,有助于实现零缺陷制造的目标.
