基于表面传热模型的感应合等离子体的加工路径优化
Peiqi Jiao1,2,3, Bin Fan2, Qiang Xin2
1National Key Laboratory of Optical Field Manipulation Science and Technology, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China.
Micromachines
|January 25, 2025
概括
感应合等离子体 (ICP) 处理化石英面临着热不稳定. 一个新的分阶格子轨道有效控制温度,提高加工精度,并使高精度应用成为可能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 制造业 工程 制造工程
- 光学工程是指光学工程.
背景情况:
- 感应合等离子体 (ICP) 是一种非接触式光学处理方法,对于化石英制备至关重要.
- 在ICP处理过程中的热效应导致不稳定的删除率和精度降低,阻碍了进步.
研究的目的:
- 分析影响等离子体去除深度的临界温度.
- 建立用于等离子体喷射处理的传热模型.
- 开发策略,以减轻ICP加工中的热效应.
主要方法:
- 模拟用于等离子喷射处理的传热模型.
- 导出热传导方程的导出.
- 对格轨道路径温度的分析.
- 一个分阶段格轨道的建议和验证.
主要成果:
- 确定了与处理速度相关的关键温度和半径.
- 开发了一种传热模型,并推导出传热方程.
- 证明了一个分阶梯格子轨道有效控制路径温度并抑制处理错误.
结论:
- 了解热传递是提高ICP加工精度的关键.
- 拟议的分阶格子轨道为高精度等离子加工路径优化提供了一种可行的方法.
