纳米穿孔膜与单立体集成的埋藏腔腔

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术纳米技术
• 微型制造业的微型制造

背景情况:

• 现有的纳米孔膜 (NPM) 制造方法在机械强度和复杂性方面面临挑战.
• 需要可扩展和可适应的过程来创建高面积比 (HAR) 的纳米孔结构.

研究的目的:

• 开发一种晶圆尺度的工艺,用于制造具有集成支结构的单立体悬浮NPM.
• 克服现有方法在机械强度和制造复杂性方面的局限性.
• 为了使可调整的几何形状适用于各种应用.

主要方法:

• 使用循环沉积,去除,蚀刻和多步骤 (DREM) 工艺进行纳米孔的定向蚀刻.
• 采用埋藏的空洞形成,使用同otropic蚀刻用于厚厚的NPMs.
• 为宏观世界连接提供集成的透过通道.

主要成果:

• 成功制造了可调节厚度 (4.5微米,6.5微米,12微米) 的单立式悬浮NPM.
• 实现了高尺寸比 (HAR) 的纳米孔 (300 nm直径,700 nm距离).
• 证明了一种灵活,稳固的工艺,可以适应各种结构参数.

结论:

• 开发的DREM工艺为制造先进的NPM在中提供了强大的和可扩展的方法.
• 单立体设计允许进一步的功能化,并扩大了应用潜力.
• NPM适用于要求高的应用,如净化,分离和腐蚀性环境.