微波表面和薄钻石板中的Lamb波:实验和理论调查
B P Sorokin1, D V Yashin1, N O Asafiev2
1Federal State Budgetary Institution , Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials of National Research Centre, Kurchatov Institute, 108840 Moscow, Troitsk, Russian Federation; Moscow Institute of Physics and Technology, 141700 Dolgoprudny, Russian Federation.
Ultrasonics
|January 25, 2025
概括
这项研究探讨了微波表面和Lamb波在一个新的多层结构. 研究人员成功激发了高达20 GHz的Lamb波,并开发了一种方法来区分波型,这对于声电子传感器设计至关重要.
科学领域:
- 声学电子设备 声学电子设备
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 固态物理 固态物理
背景情况:
- 多层结构是先进的声电子设备的关键.
- 了解压电材料中的波传播对于传感器开发至关重要.
- 钻石基板为高频应用提供独特的性能.
研究的目的:
- 为了研究微波表面和Lamb波传播在一个Al-IDT/(Al0.72Sc0.28) N/钻石结构.
- 开发一种用于识别不同波形模式的方法 (雷利,SHn,Lamb).
- 分析薄膜沉积对传感器应用中的共振频率的影响.
主要方法:
- 波传播的实验性表征.
- 模拟和模拟波浪行为.
- 分析弹性位移场和相位速度分散.
主要成果:
- 实现了雷利,SHn和Lamb波的同时生成.
- 在高达20 GHz的频率上成功激发了Lamb波.
- 实验结果与理论计算非常相匹配.
- 开发了一种可靠的方法来区分波形.
- 在Pt膜沉积时观察到明显的频率转移,有助于波浪识别.
结论:
- 开发的多层结构支持高频波传播.
- 提出的方法有效地区分波浪类型.
- 了解薄膜沉积效应对于设计使用Lamb波的声电子传感器至关重要.


