Optics express
|January 29, 2025
PubMed
概括

这项研究引入了一种用于环形光刻的新型曝光系统,可以在曲的表面上制造微型和中型结构. 这种先进的工具实现了高分辨率和精确控制环尺寸,用于多功能应用.