研究DF-TSOM方法用于检测光学元件的地下缺陷

概括

一种新的暗场透焦扫描光学显微镜 (DF-TSOM) 技术有效地检测100纳米级地下表面缺陷. 这种先进的方法显著提高了透明材料的对比度和灵敏度.