DF-TSOM

Optics express
|January 29, 2025
PubMed
概括

一种新的暗场透焦扫描光学显微镜 (DF-TSOM) 技术有效地检测100纳米级地下表面缺陷. 这种先进的方法显著提高了透明材料的对比度和灵敏度.